7月22日，上海证券交易所和中证指数有限公司宣布了上证科创板高端装备制造指数（以下简称科创高装指数）和上证科创板新材料指数（以下简称科创材料指数）的发布安排，两条科创板主题指数将于8月15日正式发布。其中，芯碁微装（688630）入选科创高装指数成分股。

经筛选后，科创高装指数选取了不超过50只市值较大的高端装备制造领域上市公司证券作为指数样本。高端装备制造相关领域科创板上市公司为84家，整体体现出较高的智能化水平，细分方向涵盖先进轨道交通设备、半导体设备、智能制造设备、激光设备等，研发强度不断提升，2021年研发投入同比增长24%。

2021年4月1日，芯碁微装成功登陆科创板，成为中国光刻第一股，近年公司不断加大研发投入力度，近五年研发费用平均增长率近70%；公司以打造中国“芯片基石”为己任，多项技术填补了国内直写光刻技术标准的空白；公司整合国内外优势资源和尖端科研力量，坚持自主研发与技术创新，已拥有百余项自主知识产权，产品和技术指标在多个领域已实现对海外同类光刻设备的赶超。未来，公司将继续在打造“IC装备 世界品牌”的征程上，不断投入研发力量，持续开拓新产品及新技术，引领中国数字光刻的新超越。