22日上午，会议开幕式由中科院物理研究所冯稷研究员主持，合肥市政府副市长赵明，市人大常委会副主任、合肥高新区党工委书记、管委会主任宋道军，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦，安徽省半导体行业协会理事长陈军宁，中科院标准化管理委员会专家组代表麻云凤，合肥高新技术产业开发区半导体投资促进中心主任刘绪勇，合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事长程卓出席开幕式。

合肥市政府副市长赵明致辞

微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦致辞

中科院标准化管理委员会专家组代表麻云凤致辞

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事长程卓致辞

市人大常委会副主任、合肥高新区党工委书记、管委会主任宋道军致辞

会议主办方微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦研究员代表全国半导体设备和材料标准化技术委员会领导及中国科学院条件保障与财务局张红松主任对本会的祝贺,感谢多年来微光刻分技术委员会委员和代表们的努力和奉献，总结历经十年《微电子学微光刻技术术语》国家标准终稿获全体委员通过性投票，并宣布全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第三届年会暨第十二届微光刻技术交流会正式开始。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事长程卓女士代表承办方致欢迎词，芯碁微装很荣幸能够作为活动承办方与各位同仁共同打造这一年度行业盛会，同时感谢活动主办方全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会秘书处为半导体企业提供的平台，芯碁微装将一如既往发挥上市公司示范作用，推动行业标准化建设，促进行业良性发展，引领中国数字光刻的新超越。

本次会议，来自国内外的学者聚集到合肥，对微光刻技术、半导体设备和材料技术、先进光刻技术的发展趋势、最新研究成果及进展等展开深入的交流与探讨，促进了微纳制造科研高速发展，为相关产业的健康发展作出了贡献。