MAS系列
• 智能涨缩管控
• 多种涨缩模式（自动、固定、分段、智能、分区域）
• 多种变形模式（线性、非线性）
• 支持拼版，大板模式（选配）
• 智能生产功能（读码、读码和对接工厂MES系统）
• 一站式服务（资讯实时交互、管控和追溯）
• 资料自动化（自动转换资料、制作资料、调取资料）
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序号 |
项目 |
MAS6 |
MAS8 |
MAS15 |
MAS25 |
MAS35 |
MAS50 |
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1 |
最高产能 |
72面/小时 |
120面/小时 |
270面/小时 |
360面/小时 |
360面/小时 |
390面/小时 |
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2 |
资料解析度 |
0.35um |
0.5um |
0.9um |
1.2um |
2um |
2um |
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3 |
最小线宽/线距 |
6/6um |
8/8um |
15/15um |
25/25um |
35/35um |
50/50um |
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4 |
对位精度 |
±5um |
±5um |
±8um |
±10um |
±12um |
±12um |
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5 |
线宽均匀性 |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
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6 |
最大曝光面积 |
22”*24” |
22”*24” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
IC载板
软板/软硬结合板
HDI板
多层板和单/双面板等
