DILINE系列
• 无缝对接直接成像曝光机
• 芯碁微装各类型单、双机机LDI/DI产品皆可联机
• 适用于内层、外层和防焊制程
• 线路连线产出最高达8500片/天
• 智能生产功能（读码、读码和对接工厂MES系统）
• 一站式服务（资讯实时交互、管控和追溯）
• 资料自动化（自动转换资料、制作资料、调取资料）
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序号 |
项目 |
DILINE -MAS6 |
DILINE -MAS8 |
DILINE -MAS15 |
DILINE -MAS25 |
DILINE -MAS35 |
DILINE -MAS50 |
DILINE -NEX3 |
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1 |
最高产能 |
72片/小时 |
120片/小时 |
270片/小时 |
360片/小时 |
360片/小时 |
390片/小时 |
120片/小时 |
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2 |
最小线宽/线距 |
6/6um |
8/8um |
15/15um |
25/25um |
35/35um |
50/50um |
50um焊桥 150um开窗 |
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3 |
线宽均匀性 |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
±10% |
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4 |
最大曝光面积 |
22”*24” |
22”*24” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
24.5”*28.5” |
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5 |
对位精度 |
±5um |
±5um |
±8um |
±10um |
±12um |
±12um |
±12um |
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6 |
适用制程 |
线路 |
线路 |
线路 |
线路 |
线路 |
线路 |
防焊 |
