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LDW-D1系列
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LDW-D1系列

LDW-D1直写光刻设备是自主研发生产的一款高端量产设备,采用高端空间光调制器件数据处理系统,可实现高解析、高产能、智能管控的量产需要。设备主要应用于平板显示、先进封装等微纳加工领域。
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产品描述
参数

1、产品介绍

LDW-D1直写光刻设备是自主研发生产的一款高端量产设备,采用高端空间光调制器件数据处理系统,可实现高解析、高产能、智能管控的量产需要。设备主要应用于平板显示、先进封装等微纳加工领域。

   •    网格精度:20nm
   •    最小线宽:700nm
   •    基板尺寸: 12inch(可拓展)
   •    曝边:选配
   •    智能化:自动打码、读码、对接MES系统
   •    支持格式: GDSII/ODB++/Gerber

 

2、技术规格

3、应用领域

   平板显示

   先进封装

 

 

 

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