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LDW-D1

一款高端量产设备,采用高端空间光调制器件数据处理系统,可 实现高解析度、高产能、智能管控的量产需要。设备主要应用于 平板显示、先进封装等微纳加工领域。
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1.产品描述

 

       一款高端量产设备,采用高端空间光调制器件数据处理系统,可 实现高解析度、高产能、智能管控的量产需要。设备主要应用于 平板显示、先进封装等微纳加工领域。

 

2.产品特点

 

   •  网格精度:200nm

 

   •  最小线宽:700nm

 

   •  基本尺寸:12inch(可拓展)

 

   •  曝边:选配

 

   •  智能化:自动打码、读码、对接MES系统

 

   •  支持格式:GDSII/ODB++/Gerber

 

3.技术规格

 

 

设备型号 LDW-D1
支持基板尺寸[inch]
300x300
最小线宽[nm]
700
套刻精度[3σ,nm]
400
产能[side/h] 3000
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