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MLC600
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产品描述
参数
1.产品描述
MLC600直写光刻机是由合肥芯碁微电子装备股份有限公司自主研发生产的一款精巧型光刻产品，其功能灵活、体积小、性价比高，专为世界各大高校及研究所量身打造。
2.产品特点
• 器件无掩模直写光刻功能
• 光掩膜版制作功能
• 3D结构曝光功能
• 自动对准功能
• 背面对准功能（选配）
• 用户自定义标记对准功能
• 可视化定点曝光功能
• 自动聚焦功能
• 不规则样片曝光
• 快速、精细两种曝光模式
• 405nmLD光源（375nm可选）
• 多种数据输入格式（GDSⅡ/DXF/CIF/Gerber/BMP/TIFF）
• 基于Windows系统，用户界面方便操作
3.技术规格
| 设备型号 | MLC600 | ||
| Ⅰ | Ⅱ | ||
| 支持最大基板尺寸 | 8（可拓展） | 8（可拓展） | |
| 最大曝光面积 | 200*200mm2 | 200*200mm2 | |
| 最小解析 | 0.6μm | 2μm | |
| 数据网格精度 | 70nm | 140nm | |
| 线宽均匀性[3σ,nm] | 150 | 300 | |
| 套刻对准精度[3σ,nm] | 500 | 500 | |
| 产能 | 250mm2/min | 1000mm2/min | |
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股票代码：688630
