1
浏览量:
1000

MLF系列

    MLF系列光刻机结构紧凑,景深大、速度快,适用于功率器件、陶瓷封装等领域,对干膜和光刻胶均有良好的工艺适应性,是一款经济、灵活的量产设备。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数

 1.产品描述

 

    MLF系列光刻机结构紧凑,景深大、速度快,适用于功率器件、陶瓷封装等领域,对干膜和光刻胶均有良好的工艺适应性,是一款经济、灵活的量产设备。

 

2.产品特点

 

   •  高解析

 

   •  高对准精度

     

   •  高产速

 

   •多种倍率镜头可选择

 

   •  基板Load/Unload(选配)

 

3.技术规格

 

设备型号 MLF系列
支持基本尺寸 8inch(向下兼容)
分辨率 6/8/12/15μm
对准精度 2μm
产速 20s/side@6inch
景深

±40μm@6μm

光源类型

LD405±5nm (375±5nm 可选)

  

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个
下一个

客户支持

投资者关系

联系我们

公司地址:

合肥市高新区明珠大道与长宁大道交口358号

联系电话:

+86-551-63823652

 

tp

扫一扫关注我们

Copyright ©2020 合肥芯碁微电子装备股份有限公司