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MLF系列
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产品描述
参数
1.产品描述
MLF系列光刻机结构紧凑，景深大、速度快，适用于功率器件、陶瓷封装等领域，对干膜和光刻胶均有良好的工艺适应性，是一款经济、灵活的量产设备。
2.产品特点
• 高解析
• 高对准精度
• 高产速
•多种倍率镜头可选择
• 基板Load/Unload（选配）
3.技术规格
| 设备型号 | MLF系列 | |
| 支持基本尺寸 | 8inch（向下兼容） | |
| 分辨率 | 6/8/12/15μm（四种镜头供选择） | |
| 对准精度 | 2μm | |
| 产速 | 20s/side@6inch | |
| 景深 |
±40μm@6μm |
|
| 光源类型 |
LD405±5nm （375±5nm 可选） |
|
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股票代码：688630
