1
浏览量:
1000

LDW350

      LDW350直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能,可满足130nm节点的制版需求。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数

1.产品描述

 

      LDW350直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能,可满足130nm节点的制版需求。

 

2.产品特点

 

   •  掩膜版曝光功能

 

   •  器件直写光刻功能

 

   •  多种种曝光方式、多光刻镜头选配

 

   •  高精度环境控制系统

 

   •  支持多种数据输入格式(GDSⅡ/DXF/CIF/Gerber BMP/TIFF)

 

   •  基于Windows系统,用户界面方便操作

 

3.技术规格

设备型号 LDW350
支持基本尺寸 4/5/6/7inch
分辨率 350nm
网格精度 10nm
图形位置精度 80nm
套刻精度 150nm
线宽均匀性[3σ] 30nm
产能 280mm2/min
扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个
下一个

客户支持

投资者关系

联系我们

公司地址:

合肥市高新区明珠大道与长宁大道交口358号

联系电话:

+86-551-63823652

 

tp

扫一扫关注我们

Copyright ©2020 合肥芯碁微电子装备股份有限公司