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LDW350
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产品描述
参数
1.产品描述
LDW350直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术，采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统，同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能，可满足130nm节点的制版需求。
2.产品特点
• 自动巡边居中曝光
• 高解析度：350nm
• 腔内温度波动小于0.03℃
• 375nm LD光源
• 多种数据输入格式（GDSⅡ/Gerber/ODB++）
3.技术规格
| 设备型号 | LDW350 | |
| 支持基板尺寸 | 4/5/6/7inch | |
| 分辨率 | 350nm | |
| 网格精度 | 10nm | |
| 图形位置精度 | 80nm | |
| 套刻精度 | 150nm | |
| 线宽均匀性[3σ] | 30nm | |
| 产能 | 280mm2/min | |
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股票代码：688630
