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LDW500
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产品描述
参数
1.产品描述
LDW500直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术，采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统，同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能，可满足制版及器件直写要求。
2.产品特点
• 器件直写光刻功能
• 3D结构曝光功能
• 掩膜版曝光功能
• 可视化定点对准曝光功能
• 快速、精细两种曝光模式
• 多种数据输入格式（GDSⅡ/Gerber/ODB++）
• 基于Windows系统，用户界面方便操作
3.技术规格
| 设备型号 | LDW500 | ||
| Ⅰ | Ⅱ | ||
| 支持基板尺寸 | 6inch | 6inch | |
| 分辨率 | 500nm | 1500nm | |
| 网格精度 | 15nm | 60nm | |
| 图形位置精度 | 200nm | 200nm | |
| 套刻精度 | 300nm | 500nm | |
| 线宽均匀性[3σ] | 100nm | 200nm | |
| 产能 | 350mm2/min | 1000mm2/min | |
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LDW350
股票代码：688630
