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LDW500

LDW500直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能,可满足制版及器件直写要求。
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 1.产品描述

 

LDW500直写光刻机基于先进的DLP数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能,可满足制版及器件直写要求。

 

2.产品特点

 

   •  器件直写光刻功能 

 

   •  3D结构曝光功能

 

   •  掩膜版曝光功能

 

   •  可视化定点对准曝光功能

 

   •  快速、精细两种曝光模式

 

   •  多种数据输入格式(GDSⅡ/Gerber/ODB++)

 

   •  基于Windows系统,用户界面方便操作

 

3.技术规格

 

设备型号 LDW500
支持基板尺寸 6inch 6inch
分辨率 500nm 1500nm
网格精度 15nm 60nm
图形位置精度 200nm 200nm
套刻精度 300nm 500nm
线宽均匀性[3σ] 100nm 200nm
产能 350mm2/min 1000mm2/min

  

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