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SDI系列
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产品描述
参数
1.产品描述
SDI系列产品是业界领先的光伏直接成像解决方案,适用于光伏太阳能电池高精度图形化工艺领域。
该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析能力,解析精度优于15μm及优异的线宽一致性和边缘粗糙度,在保证增效的同时,可降低整体运行成本。
2.产品特点
- 直写光刻无需掩膜版,非接触曝光工艺;
- 405nm 半导体激光器,低曝光剂量无基底激光损伤;
- 背靠背双轨道M10/G12半片≥10000wph;
- 图形易编辑,基板尺寸适用于166~210整片以及半片电池;
- 对位精度:抓边对位±0.05mm、Mark高精对位±10μm;
- 适用不同感光材料,解析精度优于15μm,线宽公差±10%;
- 高精度环境控制系统,稳定性好;
- 基于Windows系统,用户界面方便操作;
3.技术规格
设备型号 | 光伏SDI | |
基板尺寸 | 166 mm~210mm整片或半片电池 | |
基板厚度 | 100~150μm | |
解析能力 | 15μm | |
线宽公差 | ±10% | |
景深 | ±100μm | |
对位精度 | 边缘对位±50μm Mark对位±10μm |
|
双轨道产能 | 10000wph | |
光源类型 | LD 405±10nm | |
拼接误差 | ±1.5μm | |
能量均匀性 | ≥95% | |
光源寿命 | 10000H |
* 显影后,最小线宽/线距与景深取决于感光材料特性及制程
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