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SRD系列

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产品描述
参数

1.产品描述


SRD系列产品是具有高精度解析、高精度对位的光伏直接成像研发平台,适用于高效太阳能电池图形化研发应用。
该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析可实现优于6μm精细线路,对干膜、油墨以及光刻胶均有良好的工艺适应性,是一款经济、灵活的研发设备平台。

 

2.产品特点

 

   •  直写光刻无需掩膜版,非接触曝光工艺;
   •  405nm 半导体激光器,低曝光剂量无基底激光损伤;
   •  高解析精度,优于6微米解析精度;
   •  对位精度:抓边对位±0.05mm、Mark高精对位±10μm;
   •  基板尺寸最大支持300mm*300mm,适用于166~210整片以及半片电池;
   •  自动对准功能,兼容抓点和抓边对位;
   •  多种数据输入格式(GDSⅡ/DXF/Gerber等)
   •  基于Windows系统,用户界面方便操作

 

3.技术规格

 

 

设备型号 光伏SRD
06型 08型
基板尺寸 166 mm~210mm整片或半片电池
基板厚度 80~150μm
解析能力 6μm 8μm
线宽公差 ±10% ±10%
景深 ±30μm ±50μm
对位精度 边缘对位±50μm
Mark对位±8μm
边缘对位±50μm
Mark对位±10μm
光源类型 LD 405±10nm
拼接误差 ±1μm
能量均匀性 ≥95%
光源寿命 10000H

  *  显影后,最小线宽/线距与景深取决于感光材料特性及制程

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