合肥芯碁微电子装备股份有限公司

LDW系列

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半导体晶圆直写及制版光刻设备

MAS系列

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PCB激光直接成像设备

LDW-D1

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FPD显示面版直写曝光设备

芯碁微装

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IC装备世界品牌

股票代码：688630

合肥芯碁微电子装备股份有限公司(简称：芯碁微装)，成立于2015年6月，注册资本12080万元，坐落于合肥市高新区集成电路产业基地，公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备。

公司坚持自主研发与创新，拥有完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，公司获得百余项技术专利，并获批建立了 “外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。