LDW系列
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半导体晶圆直写及制版光刻设备
MAS系列
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PCB激光直接成像设备
LDW-D1
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FPD显示面版直写曝光设备
芯碁微装
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IC装备 世界品牌
股票代码：688630
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合肥芯碁微电子装备股份有限公司(简称：芯碁微装)，成立于2015年6月，注册资本12080万元，坐落于合肥市高新区集成电路产业基地，公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备。
公司坚持自主研发与创新，拥有完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，公司获得67项技术专利，并获批建立了 “外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。
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芯碁微装供销网络遍布全球，陆续设立了深圳分公司、
苏州子公司等服务网点；
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NEWS CENTER
芯碁微装与西安交大共建光刻装备智能制造联合实验室
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12月13日上午，合肥芯碁微电子装备股份有限公司-西安交通大学共建“光刻装备智能制造联合实验室”签约仪式在中国西部创新港举行。
合肥市常务副市长王文松一行莅临芯碁微装考察调研
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9月30日上午，合肥市常务副市长王文松一行莅临芯碁微装合肥总部考察调研，深入了解情况，助力企业发展。
合肥举行各界人士迎国庆茶话会 芯碁微装董事长程卓出席并发言
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9月29日上午，合肥市各界人士“奋斗百年路 启航新征程”迎国庆茶话会在市政务中心举行。省委常委、市委书记虞爱华出席并讲话。
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