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RTR系列
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产品描述
参数
1、产品介绍
芯碁微装RTR(Roll to Roll)是一款专门为卷对卷或者片对卷的软板开发的激光直接成像系统，采用大功率曝光光源设计并结合高精度的成像和定位系统，为软板制程提供完美的解决方案。
• 智能涨缩管控
• 多种涨缩模式（自动、固定、分段、智能、分区域）
• 多种变形模式（线性、非线性）
• 支持居中和无缝分段对接曝光功能
• 智能生产功能（读码、读码和对接工厂MES系统）
• 一站式服务（资讯实时交互、管控和追溯）
• 资料自动化（自动转换资料、制作资料、调取资料）
2、技术规格
|
序号 |
规格 |
RTR15 |
RTR25* |
RTR35* |
|
1 |
最高产能 |
2.2米/分钟 |
2米/分钟 |
1.5米/分钟 |
|
2 |
资料解析度 |
0.9um |
1.2um |
2um |
|
3 |
对位精度 |
±8um |
±12um |
±12um |
|
4 |
最小线宽/线距 |
15/15um |
25/25um |
35/35um |
|
5 |
线宽均匀性 |
±10% |
±10% |
±10% |
|
6 |
卷材宽幅 |
250mm/520mm |
250mm/520mm |
250mm/520mm |
备注：*RTR25机型是原RTR200机型的升级机型，RTR35机型是原RTR100的升级机型。
3、应用领域：
柔性板（FPC）卷对卷线路层曝光工艺
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