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RTR 直接成像系列

一款高性能、卷对卷直接成像系统,采用高精度的成像和定位系统结合卷对卷上下料系统,为FPC软板制程提供完美的解决方案。
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产品描述
参数
1.产品描述
 
RTR 系列产品是业界领先的卷对卷直接成像解决方案,适用于卷对卷曝光制程。 该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析能力,最小可实现8μm精细线路及优异的线宽一致性和边缘粗糙度,在保证最佳品质的同时,可降低整体运行成本。
 
2.产品特点

 

业界领先的卷对卷直接成像系统

  • 基于DMD扫描光刻方案,搭载高性能数据处理技术与CFMEE专业光学镜组,无需底片,直接曝光,可节约成本,缩短流程,提升良率。
  • 高功率LD激光配合高效率光路设计,在提供最高产速的同时,可灵活搭配各类感光材料。
  • 分段曝光:加工超长图形,适用于新能源、车载和照明等。
  • 张力可控:保证涨缩的一致性。
  • 双列曝光:实现精细线路高产能。

 

高成像品质与高产出

  • 高解析及高性能光学系统, 实现精细线路的高成像品质与高产能。
  • 高景深:采用经市场验证的CFMEE专业的光学设计,可带来优异的高景深,应对各种表面高度不均的板材,实现最佳的曝光成像品质。

 

对位精度与涨缩模式

  • 搭载高精度移动平台与CCD靶点识别系统,对位精度高至±8μm。
  • 涨缩功能:自动涨缩、固定涨缩、分段涨缩、分区涨缩、智能涨缩及其他高阶涨缩模式,并在对位过程中对异常板材自动预警或拒曝,增强品质管控,提升良率。
  • 对位能力:系统自动高速抓靶对位,可支持各类对位靶点,亦可针对异常靶点使用拟合功能,保证对位精度的同时提升产能。
 
产品追溯
  • 在任意指定位置,曝光生成文字或二维码,用于板件追溯。
  • 支持静态及动态stamp标签,如时间、日期、序列号、设备号,涨缩值以及各类组合序列号等。

 

智能制造

  • CFMEE DI产品具备智能制造的相关硬件及软件功能,实现高度自动化以及智能化生产。
  • 专业的软件开发团队,可支持各类工业通讯协议,实现与MES制造执行系统的无缝连接。
 
3.产品规格
设备型号 RTR8/8T RTR12/12T RTR15/15T RTR25/25T RTR35/35T
最大卷料宽幅[mm]
520/260
520/260 520/260 520/260 520/260
最高产能(米/分,图形长度610mm)
0.75/1.5
1.2/2.4
1.5/3
1.6/3.2 1.8/3.6
资料解析度[μm]
0.5
0.75 0.9 1.2 2
最小线宽/线距[μm]
8/8
12/12 15/15 25/25 35/35
景深[μm]
±80
±150 ±150 200 300
线宽均匀性
±10% ±10% ±10% ±10% ±10%
对位精度[μm] ±8 ±10 ±10 ±12 ±12
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